在空化中，微米大小的气泡是由连接到高能换能器的隔膜产生的交变压力波形成的。这个过程有利于超声波清洗过程。能量被转移并储存在气泡本身中。当气泡接触到要清洁的零件的硬表面时，它会内爆成微射流。射流以其相对较高的压力、温度和速度从零件表面去除不需要的颗粒。

零件浸没在清洗液中，空化气泡聚集在其表面。一旦气泡达到一定大小，它们就会爆裂，剧烈坍缩并释放出小而强大的等离子能量。这些等离子体爆发与零件表面的微小异物颗粒发生碰撞、搅动并从中去除。这个过程每秒发生数千次，超声波清洗利用这种能量快速彻底地去除各种污染物。

因为气泡非常小，超声波清洗是一个非常温和的过程。而且，由于气泡会覆盖零件的整个表面，甚至会渗透到最小的裂缝、缝隙、盲孔、螺纹和其他特征，因此超声波清洗是一种从里到外清洗整个零件的有效方法。